bimorph cantilever
双晶片压电悬梁
piezoelectric bimorph
压电陶瓷双晶片
Applications of Piezoelectric Bimorph Beams on Micromotors and Micro Force Sensors
压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究
In this dissertation, only the piezoelectric bimorph microactuator and valveless piezoelectric micro pump are introduced.
本文得研究重点是压电双晶梁微驱动器和无阀压电微泵。
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